無塵室是指空氣無塵度達到規定級別的受控空間。其功能是把空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等污染物排除室外，并將室內的無塵度、溫度、濕度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音、振動、照明及靜電控制在某一需求范圍內。那么鄭州無塵室建設的驗收標準有哪些呢？
一、無塵室的結構組成
1、無塵室的構成是由下列各項系統所組成(在所組成的系統分子中是缺一不可的)，否則將無法構成一完整且品質良好的無塵室。
(1)天花板系統：包括吊桿、綱梁(I-Beam或U-Beam)、天花板格子梁；
(2)空調系統：包括空氣艙、過濾器系統、風車等；
(3)隔墻板：包括窗戶、門；
(4)地板：包括高架地板或防靜電舒美地板；
(5)照明器具：包括日光燈、黃色燈管等；
2、無塵室的建筑主體構造，一般是用鋼筋或骨水泥，但無論是何種構造，必須滿足如下之條件：
A.不會因溫度變化與振動而發生裂痕；
B.不易產生微塵粒子，且很難附著粒子；
C.吸濕性小；
D.為了維持室內之濕度條件，熱絕緣性要高；
二、無塵室的等級
1、無塵室等級世界各國均有自定規格，但普遍還是用美國聯邦標準209為多，以下僅就209D及209E和世界上其它各國制定標準作介紹與相互比較。
2、209E與209D等最大的不同在于209E表示單位增加了公制單位，無塵室等級以‵M′字頭表示，如M1、M1.5、M2.5、M3…..依此類推，配合國際公制單位的標準化，M字母后的阿拉伯數目字是以每立方公尺中>=0.5μm的微塵粒子數目字以10的冪次方表示，取指數為的，若微塵粒子數介于前后二者完全冪次方的間，則以1.5、2.5、3.5…表示。
3、美國聯邦標準FS 209D都以英制每立方英呎為單位，日本則是采用公制，即以每立方公尺為單位，以0.1μm微粒子為計數標準。日本標準的表示法以Class 1，Class 2，Class 3……Class8表示，最好的等級為Class 1，最差則為Class 8，以每立方公尺中微塵粒子總數中化為10的冪次方，取其指數而得。
三、無塵室控管的項目
1、能除去空氣中飄游的微塵粒子。
2、能防止微塵粒子的產生。
3、溫度和濕度的控制。
4、壓力的調節。
5、有害氣體的排除。
6、結構物與隔間的氣密性。
7、靜電的防制。
8、電磁干擾預防。
9、安全因素的考慮。
10、節能的考量。
四、無塵室之分類
1、亂流式
空氣由空調箱經風管與無塵室內之空氣過濾器(HEPA)進入無塵室，并由無塵室兩側隔間墻板或高架地板回風。氣流非直線型運動而呈不規則之亂流或渦流狀態。此型式適用于無塵室等級1,000-100,000級。
優點：構造簡單、系統建造成本，無塵室之擴充比較容易，在某些特殊用途場所，可并用無塵工作臺，提高無塵室等級。
缺點：亂流造成的微塵粒子于室內空間飄浮不易排出，易污染制程產品。另外若系統停止運轉再激活，欲達需求之無塵度，往往須耗時相當長一段時間。
2、層流式
層流式空氣氣流運動成一均勻之直線形，空氣由覆蓋率100%之過濾器進入室內，并由高架地板或兩側隔墻板回風，此型式適用于無塵室等級需定較高之環境使用，一般其無塵室等級為Class 1~100。其型式可分為二種：
(1)水平層流式：水平式空氣自過濾器單方向吹出，由對邊墻壁之回風系統回風，塵埃隨風向排出室外，一般在下流側污染較嚴重。
優點：構造簡單，運轉后短時間內即可變成穩定。缺點：建造費用比亂流式高，室內空間不易擴充。
(2)垂直層流式：房間天花板完全以ULPA過濾器覆蓋，空氣由上往下吹，可得較高之無塵度，在制程 中或工作人員所產生的塵?？煽焖倥懦鍪彝舛粫绊懫渌ぷ鲄^域。
優點：管理容易，運轉開始短時間內即可達穩定狀態，不易為作業狀態或作業人員所影響。
缺點：構造費用較高，彈性運用空間困難，天花板之吊架相當占空間，維修更換過濾器較麻煩。
3、復合式
復合式為將亂流式及層流式予以復合或并用，可提供局部超無塵之空氣。
(1)無塵隧道：以HEPA或ULPA過濾器將制程區域或工作區域100%覆蓋使無塵度等級提高至10級以上，可節省安裝運轉費用。此型式需將作業人員之工作區與產品和機器維修予以隔離，以避免機器維修時影響了工作及品質，ULSI制程大都采用此種型式。
無塵隧道另有二項優點：A.彈性擴充容易；B.維修設備時可在維修區輕易執行。
(2)無塵管道：將產品流程經過的自動生產線包圍并凈化處理，將無塵度等級提至100級以上。因產品和作業員及發塵環境相互隔離，少量之送風即可得到良好之無塵度，可節省能源，不需人工的自動化生產線為最適宜使用。藥品、食品業界及半導體業界均適用。
(3)并裝局部無塵室：將無塵室等級10,000~100,000之亂流無塵室內之產品制程區的無塵度等級提高為10~1000級以上，以為生產之用；無塵工作臺、無塵工作棚、無塵風柜即屬此類。
無塵工作臺：等級Class 1~100級。
無塵工作棚：為在亂流式之無塵室空間內以防靜電之透明塑料布圍成一小空間，采用獨立之HEPA或ULPA及空調送風機組而成為一較高級之無塵空間，其等級為10~1000級，高度在2.5米左右，覆蓋面積約10m2以下，四支支柱并加裝活動輪，可為彈性運用。
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